基于TSV的集成化硅基微波无源器件技术研究
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Project Name:基于TSV的集成化硅基微波无源器件技术研究
Institution:微电子学院
Project Source:陕西省教育厅重点科学研究计划项目
Project Level:Provincial and ministerial-level
Date of Project Completion:2021-12-31
Date of Project Initiation:2020-01-01
Project Approval Number:20JY018
Date:2021-04-29