WkmUWYUXBiylEidaPxkTNMfBHcij7YBk2ARnBJ2rUjBBUPk5BBQPuCWRPIo3
廖敏

个人信息Personal Information

教授 博士生导师 硕士生导师

性别:男

学历:博士研究生毕业

学位:博士研究生毕业

在职信息:在岗

所在单位:先进材料与纳米科技学院

电子邮箱:

扫描关注

论文成果

当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 论文成果

Orientation independent growth of uniform ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 thin films on silicon for high-density three-dimensional memory applications

点击次数:

论文名称:Orientation independent growth of uniform ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 thin films on silicon for high-density three-dimensional memory applications

发表刊物:Advanced Functional Materials

论文类型:Article

卷号:32

期号:49

页面范围:2209604

是否译文:

发表时间:2022-10-26