王卫东
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论文名称：Slide film damping in microelectromechanical devices
发表刊物：Journal of Nanoengineering and Nanosystems
论文类型：Article
论文编号：EI: 20135217124018
学科门类：工学
文献类型：J
卷号：227
期号：4
页面范围：162-170
是否译文：否
发表时间：2013-12-12
收录刊物：EI
发布时间：2018-07-25
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