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个人信息Personal Information
副教授 硕士生导师
性别：男
毕业院校：西安电子科技大学
学历：博士研究生毕业
学位：博士研究生毕业
在职信息：在岗
所在单位：微电子学院
入职时间：2018-05-29
学科：微电子学与固体电子学
办公地点：北校区东大楼210B
电子邮箱：
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金刚石高效共掺杂多路微波等离子体CVD设备
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项目名称：金刚石高效共掺杂多路微波等离子体CVD设备
所属单位：微电子学院
项目状态：在研
项目分类：国家自然科学基金
项目子类：国家重大科研仪器研制项目
项目来源单位：国家自然科学基金项目
项目级别：国家级
项目编号：B022250012
学科门类：工学
一级学科：电子科学与技术
立项时间：2022-01-01
项目批准号：62127812