专利名称:一种基于双层掺杂Al1-xScxN的铁电调控晶体管及其制备方法
所属单位:微电子学院
第一作者:赵雪
专利类型:发明
申请号:CN202211409812.2
授权号:CN202211409812.2
是否职务专利:否
授权日期:2022-11-10
发布时间:2024-06-12