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专利名称：InAlN/AlGaN增强型高电子迁移率晶体管及其制作方法

所属单位：100900

教研室：1114

专利范围：1

第一作者：薛军帅

专利类型：发明专利

申请号：201410570899

发明人数：4

是否职务专利：否

申请日期：2014-10-23

授权日期：2017-02-15

发布时间：2020-06-04